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主营产品
分子束外延薄膜生长设备(MBE)、化合物半导体、高真空磁控溅射仪、高真空电子束蒸发镀膜机、LPCVD设备、团簇式OLED真空蒸镀工艺装备、金刚石薄膜制备设备、高真空电阻热蒸发镀膜机、MOCVD设备、金刚石散热晶圆片、PECVD设备等产品。
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